Desde la invención de la tecnología de dispositivos de carga acoplada (CCD) en 1969, su sensibilidad ampliada desde el infrarrojo cercano hasta la región de rayos X del espectro electromagnético se ha utilizado con buenos resultados en una amplia variedad de áreas de aplicación (por ejemplo, astronomía, condensados de Bose-Einstein, imágenes de fluorescencia, fotometría, investigación del plasma, espectroscopia Raman e imágenes de rayos X).

Debido a las características únicas de su construcción, los CCD son especialmente útiles para la obtención de imágenes y la espectroscopia realizadas en el rango de los rayos X suaves al VUV. Sin embargo, debido a la fuerte absorción de radiación UV por parte de los materiales utilizados en la capa superior a la capa epitaxial de absorción de fotones del CCD, es muy importante asegurarse de que sea lo más fina posible.

A medida que aplicaciones avanzadas como la litografía EUV (un proceso de fabricación de los semiconductores de próxima generación) siguen ganando terreno en la ciencia y la industria, aumenta la demanda de herramientas de captura de imágenes que sean extremadamente estables y sensibles en el rango de energía de los rayos X suaves al VUV. Para hacer frente a este reto, los CCD especiales de proceso mejorado y otros CCD retroiluminados sin revestimiento antirreflectante ofrecen ahora una sensibilidad sin precedentes en este rango espectral.

Este artículo presenta la eficiencia cuántica de varios tipos de CCD: (1) CCD retroiluminados estándar; (2) CCD retroiluminados mejorados; (3) CCD retroiluminados deep-depleted ; y (4) CCD iluminados frontalmente deep-depleted. Las diferencias de sensibilidad dentro del rango de energía de los rayos X suaves al VUV son evidentes.

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